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真空泵过滤芯KRX(S)6的安装步骤如下。
1、关闭真空泵系统电源，确保真空泵处于静止状态，准备好新的真空泵过滤芯KRX(S)6和安装工具。
2、找到真空泵的过滤装置位置，通常在真空泵的进气口或排气口处，拆卸旧滤芯或过滤装置的外壳，可能需要使用扳手或其他工具。
3、将新的真空泵过滤芯KRX(S)6按照拆卸的相反顺序安装到过滤装置中，确保滤芯安装正确并紧密贴合，避免漏气或安装不当导致的问题。
4、安装过滤装置的外壳，确保外壳密封良好，避免漏气。
5、打开真空泵系统电源，检查真空泵运行是否正常，确保过滤系统工作正常。
不同品牌和型号的真空泵过滤芯安装方法可能有所不同，如果无法确定如何安装，建议参考真空泵的使用说明书或联系相关厂家获取更详细的安装指导，在安装过程中要小心谨慎，确保安全。